Hétérostructures (Al,Ga)N/GaN sur silicium

Ce travail concerne le développement et l’évaluation de nitrures d’éléments III épitaxiés sur substrat de silicium (111). L’objectif de notre travail était la réalisation et l’étude d’hétérostructures (Al,Ga)N/GaN en vue d’évaluer leurs potentialités pour deux types d’applications. La première concerne les microcavités destinées à l’étude du couplage exciton-photon et à la fabrication de diodes électroluminescentes à cavité résonante (DELs-CR). La seconde a trait aux dispositifs hyperfréquences de type transistors à gaz 2D d’électrons. Le chapitre I est consacré à la description d’un procédé de croissance de GaN sur Si par epitaxie sous jets moléculaires, L’étude des propriétés électriques et optiques d’hétérostructures (Al,Ga)N/GaN est reportée au chapitre II. Dans le chapitre III nous proposons et développons un moyen de contrôler la contrainte dans les superréseaux (Al,Ga)N/GaN. De tels superréseaux sont élaborés pour la fabrication de DELs-CR émettant dans le bleu. Finalement, le régime de couplage fort exciton-photon est pour la première fois mis en évidence dans les nitrures d’éléments III.